观察光学镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况，每当电弧熄灭前，能发现电弧弧斑比较粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红，靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现，使弧电流较集中于靶面一点，导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中，使弧斑下的靶面温度很高而产生大量的热电子发射。
　　靶面局部大量的热电子发射的结果，一方面中和了大量的空间电荷，使阴极表面上的电场成为减速场，甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面，大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的很大电场来维持表面发射，也不具备很高表面温度来产生热电子发射，导致电弧的熄灭。
　　所以在光学镀膜机多弧靶源的设计中，应注意给阴极靶以充分的冷却，尽量采用直接水冷，间接水冷时，阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料（如铜、铝等）。